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电子气体是电子工业的“血液”与“粮食”,是集成电路制造、 半导体显示、半导体器件制造过程中不可缺少的关键材料。电子特气 是我国集成电路产业发展的“卡脖子”环节,当前集成电路电子特气 整体国产化率不足 25%,高端产品严重依赖进口,先进制程的关键气 体材料几乎全部由海外巨头垄断。
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