山西证券：中科仪（920186）-国产半导体真空泵龙头，技术壁垒深厚，为“专精特新”小巨人

中科仪(920186) 投资要点： 中科仪是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商，主营业务涵盖干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售及相关技术服务。公司起源于20世纪50年代中国科学院下属真空科研单位，实际控制人为中国科学院控股有限公司，国家集成电路产业投资基金为公司第二大股东。干式真空泵为公司主要收入来源，主要客户覆盖长江存储、长鑫科技、中芯国际、北方华创、隆基绿能等头部企业。 干式真空泵行业受半导体、光伏及大科学装置需求拉动，国产替代加速，市场空间持续扩大。全球集成电路市场规模预计2026年将增至8,743亿美元，中国大陆半导体设备市场已连续四年成为全球最大市场，2024年市场规模达 495.5亿美元。据测算，2024年全球集成电路领域干式真空泵需求约12.57万台，市场规模约125.74亿元；中国大陆需求约5.21万台，市场规模约52.11亿元。光伏产业在"双碳"目标驱动下中长期向好，2024年我国光伏新增装机277.57GW。全球干式真空泵市场长期由英国Edwards、日本Ebara等外资巨头垄断，但国产厂商正加速追赶。此外，我国科研经费投入持