华源证券：中科仪（920186）-专注真空装备技术，干式真空泵配套长鑫、长存等半导体本土领军者

中科仪(920186) 投资要点： 中科仪本次发行采用网下询价，申购日为2026年4月20日。公司本次发行数量为5200万股，发行后总股本为22384万股，本次发行数量占发行后总股本的23.23%。经我们测算，公司发行后预计可流通股本比例为45%，老股占可流通股本比例为48.38%。本次发行战略配售初始发行数量为520万股，占本次发行数量的10.00%，相关领域产业资本（兆易创新、屹唐半导体）参与。中科仪此次募集资金将主要用于干式真空泵产业化建设项目、高端半导体设备扩产及研发中心建设项目、新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目，其中干式真空泵产业化建设项目达产后预计新增年产20040台干式真空泵的产能。 中科仪长期专注于真空科研仪器，2025年归母净利润84387万元（yoy+337.77%）。公司专注真空装备这一“硬科技”领域，在洁净真空、超高真空领域形成了大量技术工艺积累，已形成干式真空泵和真空仪器设备两大业务板块，其中干式真空泵是目前半导体和泛半导体领域主流用泵，真空科学仪器设备产品包括用于薄膜制备的仪器设备（PVD、CVD）和用于重大科技基础设施的高能物理真空装置。公司客户