东莞证券：中科仪（920186）-深度报告：（可公开）深耕半导体真空设备，受益行业规模扩容

中科仪(920186) 投资要点： 公司深耕洁净真空与超高真空领域，干式真空泵已实现从成熟制程向先进制程持续突破。公司主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备，是国内领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商。公司长期围绕半导体干式真空泵进行技术研发与产业化，2016—2018年实现中芯国际多条产线批量应用，成为首家批量应用于集成电路制造工艺的国产干式真空泵制造企业；2019—2022年，公司进一步实现干式真空泵在半导体成熟制程苛刻工艺领域规模化应用，成为国内唯一一家在半导体清洁、中等、苛刻工艺均实现大批量应用的国产干式真空泵制造企业。2023年至今，公司产品在抽速、泵温控制、防腐蚀、耐粉尘等性能指标上持续突破，并在先进制程清洁工艺实现批量应用，逐步向先进制程中等工艺拓展，先进制程苛刻工艺干式真空泵亦已完成产品开发并实现测试应用。 AI驱动全球晶圆厂持续扩产，半导体设备市场规模扩容为公司成长提供良好行业基础。2026年一季度全球半导体设备销售额达到365.5亿美元，同比增长14.0%，创历史单季度新高，主要受AI算力需求持续增长推动，全球晶圆厂围绕先进制程、先进封装、HB