华金证券：TOPCon设备行业深度报告：TOPCon大规模量产，PECVD成为主流工艺

投资要点行业转型，TOPCon电池率先实现大规模量产：随着PERC电池量产效率逐渐接近其理论效率，行业开始转向TOPCon/HJT等N型电池。而TOPCon电池以其电池效率高、设备投资成本低、与PERC产线兼容性高等优点，率先实现大规模量产。据不完全统计，截止目前，TOPCon已投产69.75GW，规划待建产能近474GW。TOPCon存在工艺路线之争。TOPCon电池与PERC电池核心差异在于，新增隧穿氧化层，以及掺杂多晶硅层。以多晶硅层制备方法，TOPCon工艺路线分为LPCVD/PECVD/PVD路线。从工业应用角度看，掺杂多晶硅层制备方法，要求工艺简单、产能大；隧穿氧化层因其对电池整体性能影响十分关键，要求工艺制备的膜层致密度高、均匀性好。从技术角度看，PECVD法能实现LPCVD法同等制备效果，且清洗绕镀简单，工艺精简、良率预期更高。LPCVD路线技术最成熟，但有严重绕镀、原位掺杂难等问题。因绕镀，LPCVD设备需增加一倍设备；PVD路线，根据ISFH研究观点，PVD钝化效果略差。且实际运行中，维护频率高，开机率低；而PECVD路线轻微绕镀、且清洗容易，可原位掺杂、工艺精简，