光大证券：至纯科技（603690）-系列跟踪报告之八：拟定增募资18亿元，发力半导体零部件、炉管、涂胶显影机等领域

至纯科技(603690)事件：2022年12月10日，公司发布拟定增募资18亿公告：本次非公开发行募集资金不超过（含）人民币18亿元，扣除发行费用后，4亿元用于单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目，1.6亿元用于至纯北方半导体研发生产中心项目，7亿元用于启东半导体装备产业化基地二期项目；发行股票数量不超过本次发行前上市公司总股本的30%，即不超过96,029,542股（含本数）。点评：布局14nm及以下高阶制程单片湿法装备及零部件业务，摆脱对高阶设备核心零部件的进口依赖。《单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目》旨在研发先进制程工艺的高阶半导体湿法工艺模块、单片式腔体、高纯度阀等，拟研发的零部件及模块产品完全适用于14nm及以下的逻辑芯片及高密度存储芯片的制造工艺及产业化，能够大力推动单片式腔体的国产化进程，推动高和极高深宽比清洗工艺技术研发水平，项目达成后将形成高阶制程单片湿法模块年产100套，各类零部件年产近2,000套，达产后预计年均销售收入7.2亿元。持续发力半导体支持类设备和半导体零部件业务，建立北方区域协同中心。《至纯北方半导体研发生产中心项目》在北京亦庄设立