太平洋证券：计算机：半导体设备国产化持续推进，重点关注AMHS领域

报告摘要 AMHS产品化节奏逐步加快。2024年3月20日-3月22日，SemiconChina2024在上海举行，在AMHS(AutomaticMaterialHandlingSystem)领域，国内厂商代表华芯（嘉兴）智能装备有限公司（华芯智能）等国内厂商参展，展示了第四代天车飞兔OHT实机等新产品，产品化节奏逐步加快。 AHMS助力晶圆厂降本增效，已成智能制造标配。AMHS中文译作“自动物料搬送系统”或“天车”，能快速准确的按照工艺流程在生产设备之间搬送装载晶圆的载具，是半导体产业链中极其关键的环节。AMHS由传输设备、存储设备、净化设备和控制软件等软硬件共同组成，包括OHT（空中走行式无人搬送车）、Stocker（存储仓库）、Lifter（升降机）、OHB（空中缓存站）等硬件设备和软件系统MCS（搬送控制管理系统）、MOC（multiOHTscontroller）等。随着晶圆制造工艺愈发复杂，晶圆片尺寸从8寸到12寸不断增大，物料的安全搬运需求日益凸显，AMHS在12寸FAB厂已成为智能制造的标配。AMHS的天车系统搭配自动化设备可利用派工系统指派搬运车进行指定目标机台上料盒的