头豹研究院：市场洞察：真空泵如何撑起半导体“精密制造”的半边天？

半导体真空泵半导体生产设备中的核心真空获得装置，主要用于为芯片制造的各类关键工序提供洁净、稳定且符合高真空标准的真空环境。 半导体真空泵是专门适配半导体制造工艺需求的一类真空泵，根据中科科仪公司的招股说明书信息，半导体所需的真空环境可高达超高真空程度。在半导体产业链中，从晶圆制造到封装测试的多个环节都离不开真空泵。 在晶圆制造环节中，薄膜沉积需要高真空环境避免杂质混入薄膜，保证薄膜的均匀性和纯度；刻蚀工艺需要真空环境能让等离子体稳定存在，同时排出刻蚀产生的废料；离子注入需要超高真空环境来防止离子束与气体分子碰撞，确保注入精度；光刻与退火环节需要维持洁净真空，避免晶圆表面被污染。 而在封装测试环节中，真空泵可用于真空封装、真空焊接等工艺，保障封装件的气密性和可靠性。一个月产4万片的晶圆厂，大约需要上千台真空泵及尾气处理系统和500台分子泵，可见真空系统在半导体行业的重要性。