光大证券：芯源微（688037）-系列跟踪报告之一：中国半导体涂胶显影设备龙头快速成长

芯源微(688037)公司是国内半导体涂胶显影设备龙头。公司是国内半导体涂胶显影设备的龙头企业，主要产品包括涂胶显影设备和单片式湿法设备，可用于集成电路前道晶圆加工领域和后道先进封装领域，以及化合物、MEMS、LED芯片制造等领域。2021年公司的前道涂胶显影设备获得了多个前道大客户订单及应用，下游客户覆盖逻辑、存储、功率器件及其他特种工艺等多家国内厂商，实现了小批量国产替代。公司生产的off-line涂胶显影机已实现批量销售，I-line涂胶显影机已经通过部分客户验证并进入量产销售阶段，KrF涂胶显影机已经通过客户ATP验收。未来公司将沿着offline（前道Barc、PI）→inline（I-line→KrF→ArF→ArFi（浸没式））的工艺发展路线，逐步实现前道涂胶显影设备的工艺提升。2021年公司涂胶显影设备收入为5.06亿元，同比增长114%，在总营收中的占比为61%，我们预计2022-2024年该业务的营收分别为7.82/10.26/12.73亿元。公司前道物理清洗设备实现国产替代，产品逐步向化学清洗设备延伸。公司在前道物理清洗领域已掌握28nm工艺节点的核心技术，该类设