中原证券：至纯科技（603690）-年报点评：半导体设备高速增长，晶圆再生业务有望发力

至纯科技(603690)公司2021年实现营业收入20.84亿元，同比增长49.2%；实现归母净利润2.82亿元，同比增长8.1%；每股收益为0.89元。2022年一季度公司实现营业总收入5.48亿元，同比增长137%；归母净利润2189万元，同比下降70.8%。半导体设备高速增长，泛半导体业务布局初见成效2021年公司实现营业收入20.84亿元，同比增长49.2%，实现归母净利润2.88亿，同比增长8.1%，扣非归母净利润1.62亿，同比增长46.57%。2021年公司高纯工艺系统集成营业收入10.78亿元，同比增长24.86%，占主营业务收入比例约50%；半导体清洗设备营业收入7.01亿元，同比增长222.06%，占主营业收入比例为33.64%；光电子营业收入3.03亿，同比下滑3.72%。2021年公司核心业务是泛半导体业务，其中高纯工艺系统集成是公司起家的核心业务，近年维持稳健快速增长。半导体设备是公司近年大力投入拓展的核心业务，2021年半导体设备业务营业收入7.01亿，同比增长222.06%，增长强劲，在手订单饱满，未来仍有望成为公司核心增长点。公司通过可转债和定增切入半导