浙商证券：芯源微首次覆盖报告：半导体涂显+清洗设备龙头，国产替代正当其时

芯源微(688037)半导体需求景气周期后的Capex上行及产能扩张周期，国产半导体涂胶显影设备龙头有望充分受益芯源微从事半导体专用设备研发/生产/销售十九余年，标杆产品为涂胶显影设备和湿法单片设备，其中涂胶显影设备产品成功打破国外厂商垄断并填补国内空白；在集成电路前道晶圆加工环节，作为国产化设备已逐步得到验证及应用，实现小批量替代；在集成电路制造后道先进封装/化合物/MEMS/LED芯片等环节，作为国内厂商其主流机型已广泛应用在国内知名大厂，成功实现进口替代。集成电路前道+先进封测领域双龙头，深耕涂胶显影+清洗设备近50亿美金市场2021～2023年公司在手订单及收入有望呈现高速成长。前道清洗：公司物理清洗设备领域国内第一，且积极推进化学清洗设备研究。涂胶显影：作为唯一本土厂商，公司产品在下游晶圆产线工艺验证陆续通过，2021年I-line、KrF、ArFi等进入小批量采购或中试阶段，2H21~2022有望突破28nm制程实现市场全覆盖。后道封测：公司作为台积电及华天科技等先进封测主力供应商，封测领域涂胶显影和湿法设备在大陆市场占比超过50%。股权激励首次授予落地，覆盖核心管理层及技