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天风证券:机械设备行业研究周报:CVD设备分类全解析,工程机械迎来行业第三次涨价.pdf |
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核心组合:三一重工、恒立液压、浙江鼎力、春风动力、先导智能、国茂股份、奕瑞科技、柏楚电子、华峰测控、华测检测重点组合:振邦智能(建议关注)、欧科亿、华锐精密、迈为股份、至纯科技、建设机械、中联重科、杰克股份、杰瑞股份、弘亚数控、拓斯达、美亚光电、克来机电、艾迪精密本周专题1:CVD设备分类解析——PECVD/LPCVD/ALD/CATCVD设备的原理和应用综述:薄膜制备工艺在超大规模集成电路技术中有着非常广泛的应用,按照其成膜方法可分为两大类:物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD),其中CVD工艺一般可分为LPCVD、PECVD、CATCVD(HWCVD)、ALD(ALCVD)等等。LPCVD:LPCVD具备较佳的阶梯覆盖能力,很好的组成成份和结构控制、很高的沉积速率及输出量、大大降低了颗粒污染源。PECVD:PECVD可以实现薄膜沉积工艺的低温化(小于450度),从而节省能源、降低成本、提高产能、减少了高温导致的硅片中少子寿命衰减,可应用于PERC、TOPCON、HJT等多种电池片的工艺中。ALD:成膜均匀性好、致密无孔洞、台阶覆盖特性好、可在低温进行(室温—400℃)、可简
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