深企投：2025年电子特气产业深度研究报告

电子气体是指纯度、杂质含量等技术指标符合特定要求，可应用 于集成电路、液晶面板、LED、光纤通信、光伏等半导体及电子产品 生产领域的气体，其中集成电路制造是电子气体最大的应用领域，占 电子气体总需求的 60%以上。电子气体纯度通常要求达到 5N（99.999%） 及以上，用于先进集成电路制造的气体纯度要求通常在6（N 99.9999%） 甚至更高，并且需严格控制颗粒、金属离子、水分、氧气等杂质含量， 通常要求杂质含量低于 ppm（10⁻⁶）、ppb（10⁻⁹）甚至 ppt（10⁻¹²） 级别。任何微小的纯净度差异都可能导致产品性能下降甚至整条产线 报废。