施耐德电气：电子行业科创中心系列白皮书十四-半导体工厂的电能质量解决方案——电压暂降

半 导体制造涉及 到复 杂的集 成电路生 产和组装工艺，这些集 成电路 广泛用于 各 类电子设 备，其中包括 我们日常生活中使 用的移动电话以 及 汽 车。在半 导体生 产工厂（经常被称为“晶圆厂”）中，生 产周期长，操作 复杂，成品生产过程持续数 周，并且需要使用昂贵的专业自动化设备。由 于集 成电 路生 产工艺灵敏 度 高，因而对于所有集 成电 路生 产设 备而 言， 电能质 量问题不 容忽视，其中包括 短时间的电压 变化，例如电压 暂升 暂 降事件。本文解 释了为什么电压暂降是半 导体生 产工厂所面临的一 个常 见电能质量问题，产生此类问题的原因，如何进行检测，以及解决电压暂 降的技术方案。