东吴证券：晶盛机电（300316）-布局碳化硅衬底+外延设备，设备+材料双轮驱动

晶盛机电(300316)投资要点事件：2023年12月13日晶盛机电在SEMICONJAPAN2023日本东京半导体展会上展示了8英寸碳化硅衬底片和8英寸外延生长设备，8英寸碳化硅衬底片已实现批量生产。晶盛实现碳化硅设备自制，掌握核心长晶工艺。晶盛自2017年开始碳化硅晶体生长设备和工艺的研发，（1）设备：公司坚定电阻法技术路线，并在2020年建立长晶实验室和中试线，目前长晶和核心加工设备均为自制，设备国产化率达到90%以上。（2）工艺：碳化硅衬底长晶最难的是温度、气体、压力的控制，工艺的把握决定了良率水平，晶盛光伏单晶炉的优势为软件算法自制，同时蓝宝石长晶也积累了经验，延续应用至碳化硅长晶。产能兼容6-8寸，8寸是未来重点。晶盛规划了25万片6寸和5万片8寸衬底片产能，设备从长晶、切片、减薄/研磨、抛光、清洗/检测均兼容6-8寸衬底，伴随良率近期逐渐在提高&摩尔定律的演绎，8寸会快速替代6寸，未来8寸放量后晶盛规划的产能可切换为8寸生产为主。衬底片性能优越，与中芯集成等达成合作。目前8英寸碳化硅衬底片已实现批量生产，可提供500um和350um两种厚度的8英寸衬底片以满足不同客户要求