华安证券：微导纳米（688147）-专注ALD技术，光伏和半导体双向高成长

微导纳米(688147)主要观点：ALD技术领军企业，聚焦光伏与半导体公司专注于ALD技术，引领国内ALD技术的发展应用。公司为国内首家将ALD技术规模化应用于光伏领域，也是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积设备应用于28nm节点集成电路制造前道生产线的设备公司，并不断在泛半导体领域拓展产品应用外延。2021年度和2022年前三季度公司营收分别为4.28亿元、3.85亿元，归母净利润分别为4,611.37万元、-325.47万元，截至2022年9月末，公司已取得在手订单19.75亿元。公司前期研发投入高，新产品开拓初期的毛利率有一定影响，规模效应有望带来利润加速回升。光伏：立足ALD，新型电池技术全面布局PERC：公司量产设备镀膜速率突破10,000片/小时，打破制约ALD技术应用于光伏领域的产能限制。2018年、2019年公司PERC电池背钝化设备装机容量市占率分别为41.16%、48.41%。TOPCon：（1）ALD设备在TOPCon电池正面氧化铝工艺中，可沉积超薄的、高深宽比的膜层，更适应正面镀钝化膜的复杂形貌，首先取得较高市占率。（2）公司开发的PEALD二合一平台，