光大证券：至纯科技（603690）-跟踪报告之六：中国半导体清洗设备巨头高速成长，气体等半导体服务业务空间广阔

至纯科技(603690)至纯科技是中国半导体清洗设备巨头企业。公司主业包括半导体制程设备、工艺支持设备的研发和生产销售，以及由此衍生的高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务。至纯科技半导体湿法清洗设备控股子公司至微科技通过增资扩股引入战略投资者，目前战略投资者持有至微科技比例约22%，增资方包括大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡、远致星火等。公司2022H1实现收入11.2亿元；实现扣非归母净利润0.97亿元，同比增长128%。公司2022年目标新增订单40亿元，其中湿法设备订单20亿元以上（单片设备占比60%），2022H1公司新增订单23.62亿元，同比增长37%。半导体湿法清洗设备业务步入高速成长期。至纯科技提供湿法设备，包含湿法槽式清洗设备及湿法单片式清洗设备。该类设备可以应用在先进工艺上，主要为存储（DRAM，3DFlash）、先进逻辑产品等。目前至纯科技是国内能提供到28nm节点全部湿法工艺的本土供应商。目前公司湿法设备客户包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等。公司已陆续在2022年交付4台14nm以下制程的设备。