国联证券：拓荆科技（688072）-PECVD设备龙头，国产替代迎来发展机遇

拓荆科技(688072)投资要点：公司自成立以来专注于薄膜沉积设备的研发，形成PECVD、ALD、SACVD三大设备系列产品，广泛应用于国内主流晶圆厂产线，打破了国际厂商的垄断。PECVD设备：国内唯一实现产业化应用，业绩有望持续高增长2020年PECVD设备市场规模约57亿美元，在薄膜沉积设备市场中占比最高，约33%。从供给来看，市场主要被国际巨头AMAT、LAM、TEL垄断，国内仅拓荆科技生产。公司是国内唯一实现PECVD设备的供应商，深耕薄膜沉积设备行业十余载，PECVD设备业务逐渐进入收获期，2020年营收为4.18亿元，占全球市场1%左右；2021年营收6.75亿元，同比增长61.39%，随着国内晶圆厂的扩产加速，公司业绩有望维持高增长。ALD、SACVD设备：首台套相继出货，终端验证进展有望提速2020年全球ALD设备市场规模约19亿美元，随着半导体先进制程产线数量增加，预计2026年市场规模约为32亿美元。从竞争格局来看，TEL、ASM合计占比约60%，而国内企业布局相对较慢，几无营收贡献。SACVD设备具有较高的填沟能力，应用于高深宽比薄膜沉积工艺中，目前国内仅公司实现