光大证券：至纯科技（603690）-系列跟踪报告之三：公司1-2月营收3倍增长，业绩逐步兑现步入快速放量期

至纯科技(603690)公司2022年1-2月营业收入实现3倍增长，湿法设备进入放量期。2022年1-2月公司实现营业收入2.2亿元，同比增长388.14%，2022年至今新增订单总额为7.7亿元，其中湿法设备新增订单2.9亿元。2021年度，公司新增订单总额为32.30亿元，同比增长64.80%，其中半导体设备新增订单11.20亿元，同比增长111.32%。我们预计公司2022年湿法设备订单有望达到20亿元，该业务步入放量期。推第四期股权激励计划，彰显公司对未来发展的信心。2022年2月8日，公司推第四期股票期权与限制性股票激励计划，本激励计划首次授予的激励对象共计76人，其中股票期权激励计划拟授予激励对象股票期权165万份，限制性股票激励计划拟授予激励对象限制性股票135万股。本激励计划授予的股票期权的行权价格为46.50元/股，限制性股票的授予价格为23.25元/股，彰显公司对未来发展前景的信心。至纯科技能提供全部28nm节点湿法设备，有望成为高端湿法设备的领先者。至纯科技采用先进的NanoSpray技术，目前已经可以提供28nm节点的全部半导体湿法工艺设备，2021年在14-7