光大证券:华特气体(688268)-光刻气产品获得供应商认证函公告点评:光刻气客户认证再下一城,国产电子特气龙头持续发力
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华特气体(688268)事件:10月8日晚,华特气体发布公告。公告称公司四款光刻气产品(Ar/Ne/Xe、Kr/Ne、F2/Kr/Ne、F2/Ar/Ne)均通过了日本GIGAPHOTON株式会社的合格供应商认证。点评:光刻气认证再下一城,半导体光刻用准分子激光厂家全覆盖。光刻气中的惰性气体和卤素气体在受到电子束激发后所形成的准分子发生电子跃迁后可产生特定波长的光,即可产生准分子激光。常见的准分子激光包括有KrF(248nm)和ArF(193nm),KrF和ArF准分子激光则是深紫外半导体光刻机所使用的光源。目前全球范围内仅有荷兰的ASML和日本的GIGAPHOTON能够生产高性能的半导体光刻用的准分子激光光源。公司的光刻气产品于2017年通过了荷兰ASML的产品认证,在本次通过日本GIGAPHOTON的产品认证后,公司实现了自产光刻气产品对于下游半导体光刻用准分子激光设备厂商的全覆盖,显著提高了公司在光刻气领域内的认可度和知名度。此外,公司目前也是国内唯一一家同时通过荷兰ASML公司和日本GIGAPHOTON株式会社认证的气体公司。2021年上半年,公司光刻气销售额较2020年同期同比
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