东吴证券：机械设备行业跟踪周报：看好半导体设备及零部件国产替代加速；建议关注硅片薄片化对光伏各环节设备的技术迭代作用

1.推荐组合ag：三一重工、]晶盛机电、恒立液压、先导智能、迈为股份、拓荆科技、华测检测、奥特维、长川科技、杰瑞股份、柏楚电子、富创精密、杭可科技、芯源微、绿的谐波、新莱应材、奥普特、金博股份、海天精工、高测股份、利元亨、至纯科技、联赢激光、纽威数控、道森股份。2.投资要点：半导体设备：荷兰限制部分DUV光刻机出口，看好设备国产替代加速。3月8日，荷兰政府以“国家安全”为由，宣布将对包括“最先进的”深紫外光刻机（DUV）在内的特定半导体制造设备实施新的出口管制，并加入美国对华芯片出口管制的阵营，ASML官网发布公告对荷兰政府设备出口限制进行解读，ASML认为仅NXT:2000i以上高端机型将需要申请出口许可，成熟制程客户仍将可以使用1980及以下型号浸没式光刻机，我们认为DUV出口限制对当前国内成熟晶圆厂扩产影响不大，或将加速设备进口替代进程。展望2023年，除长江存储外，国内晶圆厂依然维持较高资本开支，好于先前悲观预期，我们预计Q2有望招标启动，此外设备国产化率有望超预期提升，看好半导体设备后续行情：重点推荐长川科技、拓荆科技、芯源微，精测电子、北方华创，至纯科技、中微公司、万业企业