东吴证券：晶盛机电（300316）-发布8英寸单片式碳化硅外延设备，技术突破迎新进展

晶盛机电(300316)事件：6月27日，公司微信公众号发布推文，公司成功研发8英寸单片式碳化硅外延设备。投资要点成功发布8寸单片式碳化硅外延设备，可兼容6&8寸碳化硅外延：此前2月晶盛机电已成功发布了6寸双片式碳化硅外延设备（型号为150D，产能600-650片），不到半年，再次成功推出8寸单片式碳化硅外延生长设备。（1）兼容6&8寸：8寸设备基于6寸的温度高精度闭环控制、工艺气体精确分流控制等技术，解决了腔体设计中的温场均匀性、流场均匀性等控制难题，实现了成熟稳定的8英寸碳化硅外延工艺，相比于6寸，8寸碳化硅晶圆未来通过产量和规模效益的提升，成本有望降低60%以上。（2）技术指标处于行业领先：目前晶盛机电在子公司晶瑞的8英寸衬底基础上，已实现8英寸单片式碳化硅外延生长设备的自主研发与调试，外延的厚度均匀性1.5%以内、掺杂均匀性4%以内，未来外延设备迭代方向将从单片到多片（单腔多片式或单片多腔式），增加单位产能、降低生产成本。外延设备已成功实现国产替代，晶盛机电为国内龙头设备商：以往碳化硅外延设备主要由意大利的LPE公司、德国AIXTRON公司以及日本Nuflare公司所垄断，但国