头豹研究院：2026年中国光刻机行业概览：国产自主攻坚进入关键赛程（精华版）

摘要 行业产业链：光刻机产业链可划分为上游核心零部件及材料供应、中游整机制造、下游芯片制造与先进封装等应用三大环节，各环节之间高度协同、紧密衔接。上游核心零部件主要包含光学系统、光源系统等，长期以来由蔡司、Cymer等海外厂商占据主导地位，目前国内相关企业已逐步实现核心部件的技术突破，为国产光刻机整机的自主可控奠定坚实基础；中游为光刻机整机制造环节，ASML在高端DUV及EUV产品领域拥有绝对主导优势，而上海微电子作为国内唯一具备前道光刻机量产能力的企业，专注于90nm至28nm成熟制程设备，依托本土供应链实现批量交付，成为国内晶圆厂实现供应链自主可控的关键支撑；下游直接面向集成电路制造、先进封装、射频芯片、LED等应用场景，市场需求主要由半导体产能扩张、AI与汽车电子行业发展以及地缘政治背景下的供应链安全需求共同驱动。 市场规模：2020年以来，中国光刻机市场保持快速增长，从2020年的约1.4亿元增长至2025年的12.6亿元，年均复合增长率达到55.1%。核心驱动力主要来自两大维度：技术层面，国产光刻机在整机、核心部件及产业链配套上的持续技术突破，成为驱动国内光刻机行业规模快速扩