东吴证券：中科仪（920186）-半导体干式真空泵国产替代龙头，募投产能释放与技术迭代共驱成长

中科仪(920186) 投资要点 中科仪：国内干式真空泵集成电路领域出货量最大，唯一实现先进制程批量应用的国产企业。中科仪作为中国科学院下属企业，长期专注于洁净与超高真空技术研发，是国内领先的半导体核心部件及真空科学仪器供应商。公司干式真空泵已满足14nm逻辑芯片及128层以上3DNAND工艺要求，在国内主流晶圆厂批量应用，出货量居国产厂商首位，并进入台积电、SK海力士等知名厂商供应链；同时为北京正负电子对撞机、上海光源等11项国家重大科技基础设施提供关键真空组件，在科研级MBE设备领域保持领先地位。公司产品广泛应用于半导体、光伏、科研等领域，具备自主可控的全链条制造能力。 国家战略支持叠加自主化加速，半导体零部件及科学仪器领域前景广阔。在半导体产业自主化与清洁能源转型驱动下，干式真空泵作为集成电路及光伏制造核心设备，迎来国产替代与市场扩容双重机遇。1）集成电路领域：2024年全球市场规模达125.74亿元，中国大陆达52.11亿元，受益于先进制程扩产与国产设备导入。2）光伏领域：2024年中国市场规模约47.0-57.2亿元，晶硅电池生产中晶体生长与电池片制造工序形成稳定需求，受新增