“原子级制造基础研究”重大研究计划 专家组：2025年原子级制造技术白皮书

随着信息技术、航空航天、国防军工和新能源等行业的快速发展，核心部件 和装备的制造精度要求不断提升，制造精度逐步逼近原子级别，传统的制造方法 已经难以满足这些行业对精度的苛刻要求。例如，半导体行业的芯片制程已经接 近 2 nm 乃至更小的尺度，对光刻技术和材料加工的要求达到了前所未有的精度 标准。当前，传统技术面临着精度无法进一步突破的瓶颈，这些瓶颈制约了高精 度、高性能需求的持续增长。因此，突破现有制造技术的局限，探索新的、更精 细的制造方法成为实现高端装备和尖端技术的关键路径。