东吴证券：机械设备行业跟踪周报：看好高景气的半导体设备&光模块设备；推荐回调较多&宇树上市强催化的人形机器人

1.推荐组合：北方华创、三一重工、中微公司、恒立液压、中集集团、拓荆科技、海天国际、柏楚电子、晶盛机电、杰瑞股份、浙江鼎力、杭叉集团、先导智能、长川科技、华测检测、安徽合力、精测电子、纽威股份、芯源微、绿的谐波、海天精工、杭可科技、伊之密、新莱应材、高测股份、纽威数控、华中数控。 2.投资要点： 【半导体设备】SEMICON期间多家公司推出新品，看好设备商平台化布局加速2026年3月25-27日SEMICON展会期间多家龙头设备商推出重磅新品与技术升级方案。北方华创推出了全新一代12英寸NMC612H电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备、12英寸QomolaHPD30混合键合设备、高深宽比TSV电镀（ECP）设备AusipT830等，其中12英寸NMC612H电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备将ICP小尺寸刻蚀的深宽比提升到数百比一，均匀性带入埃米级，华创还推出了12英寸QomolaHPD30混合键合设备，是国内率先完成D2W混合键合设备客户端工艺验证的厂商。中微公司推出新一代电感耦合ICP等离子体刻蚀设备、高选择性刻蚀机、智能射频匹配器以及蓝绿光MicroLED量产MOCVD设备等，拓