光大证券：拓荆科技（688072）-投资价值分析报告：中国半导体CVD设备龙头国产化持续放量

拓荆科技(688072)拓荆科技是目前国内唯一产业化应用集成电路PECVD和SACVD设备的厂商，也是国内领先的ALD设备厂商。公司是国内半导体CVD设备龙头，主要产品包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备、原子层沉积（ALD）设备和次常压化学气相沉积（SACVD）设备三个产品系列，是国内唯一产业化应用集成电路PECVD和SACVD设备的厂商，也是国内领先的ALD设备厂商，已配适180-14nm逻辑芯片、19/17nmDRAM及64/128层FLASH制造工艺需求，广泛应用于中芯国际、华虹集团、长江存储、长鑫存储、厦门联芯、燕东微电子等国内主流晶圆厂产线，打破了国际厂商对国内市场的垄断。2021年公司实现营业收入7.58亿元，其中PECVD/SACVD/ALD设备收入分别为6.75/0.41/0.29亿元，营收占比分别为89.1%/5.4%/3.8%。全球半导体薄膜沉积市场年复合增长率为14.6%，国产化率有待提升。全球半导体薄膜沉积市场2020年市场空间约为172亿美元，预计到2025年将达到340亿美元，年复合增长率为14.6%，随着产线的逐渐升级，晶圆制造的复杂度和工序量