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东方证券:拓荆科技(688072)-国内PECVD设备龙头,受益国产替代加速.pdf |
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拓荆科技(688072)国内PECVD龙头厂商,国际化研发团队助力发展。公司2010年成立,自成立至今一直专注于半导体薄膜沉积设备业务,主要产品包括PECVD设备、ALD设备和SACVD设备三个系列,目前公司是国内唯一一家产业化应用的集成电路PECVD设备和SACVD设备厂商。公司的产品已适配国内最先进的28/14nm逻辑芯片、19/17nmDRAM芯片和64/128层3DNANDFLASH晶圆制造产线。以姜谦、吕光泉前后两任董事长为核心的五名国家级高层次专家组建起一支国际化的技术团队,研发经验和产线调试经验丰富,助力公司长期发展。半导体设备需求旺盛,技术升级拉动薄膜沉积设备投资提升。受益新能源汽车、5G手机、人工智能和可穿戴设备等新技术、新产品的发展,据WSTS预测,全球半导体产品市场规模将在2022年增长至6015亿美元,同比增长9%,设备投资需求亦将进一步提升。同时,逻辑芯片结构复杂化推动沉积设备用量提升,以中芯国际180nm8寸产线和90nm12寸产线为例,每万片月产能所需的CVD设备、PVD设备分别增加3倍和4倍左右。存储芯片方面,3DNAND相比2DNAND薄膜沉积设备投资
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