华鑫证券：中微公司（688012）-刻蚀为基，平台化打造综合性半导体设备龙头

中微公司(688012)需求驱动资本支出提升，设备国产化势在必行全球半导体市场2021年增长势头强劲，预计2022年将延续。当前半导体行业景气度持续向上，芯片供给短缺状态持续，驱动芯片厂商上修资本支出计划，推进扩产提升产能。ICInsight预计2022年半导体行业资本支出还将继续增长24%，进一步提振设备需求，SEMI预计2022年全球半导体制造设备市场总额将扩大到1070亿美元，同比增长18%。根据Frost&Sullivan，我国集成电路市场规模2015年至2019年CAGR为20%，预计2022年市场将破万亿，但2020年我国IC自给率仅为15.9%，不仅影响我国半导体产业的发展，更对我国信息产业安全造成重大隐患，美国制裁和挤压事件进一步激发国内厂商危机意识，自主可控的重要性得到凸显，国产新机台的验证工作有望积极推进，设备国产化势在必行。先进制程刻蚀环节价值占比提升，打开长期空间随着先进制程发展，线宽关键尺寸不断缩小，14nm以下的逻辑器件微观加工结构多通过多重模板工艺实现，带来刻蚀环节工艺数量提升，28nm逻辑器件中刻蚀步骤约40左右，到5nm刻蚀步骤超过160；芯片结构3D