东方证券：芯源微（688037）-引领涂胶显影设备国产替代，积极开拓清洗设备市场

芯源微(688037)核心观点国内涂胶显影设备龙头，背靠中科院沈自所。公司2002年由中科院沈阳自动化研究所发起创建。后获批承担国家02专项中的“凸点封装涂胶显影、单片湿法刻蚀设备的开发与产业化”项目，是02重大专项支持的唯一一家国产涂胶显影设备企业；后又承担02重大专项的“300mm晶圆匀胶显影设备研发”项目，拓展先进封装领域的同时成功突破前道领域多项核心关键技术。公司设备过去主要应用于先进封装、小尺寸设备领域，市场空间2-3亿美元，突破前道设备（Track、清洗）将使公司下游市场空间拓展至80亿美元以上，目前公司前道设备客户已覆盖中芯国际、长江存储等国内一线厂商，新产品新客户验证持续推进，公司有望迎来加速增长阶段。引领涂胶显影设备国产替代，布局清洗设备进一步打开成长空间。2021年预计全球半导体设备销售额超千亿美金，同比提升40%以上，中国大陆半导体设备销售额占比持续提升，达到29%。芯源微具备涂胶显影、清洗、湿法刻蚀等设备供应能力，覆盖半导体前道设备市场达10%以上的需求。公司是国内目前唯一能提供前道涂胶显影设备的厂商，offline涂胶显影机产品已实现批量销售，I-line涂胶