中银证券：盛美上海（688082）-客户全球化战略迎来新的里程碑

盛美上海(688082)据盛美半导体设备官方微信公众号，宣布从美国一家主要国际半导体制造商处获得两份型号为UltraCSAPSV的12腔单片清洗设备订单，所涉两台设备预计均将安装于该客户的美国工厂中，用于其先进制程。第一份SAPS订单是一台评估设备，用于进一步验证设备的清洗性能，并最终确定设备的具体配置，计划于2022年第一季度交付。第二份SAPS订单是一台量产设备，供其量产线使用，计划于2022年第二季度交付。支撑评级的要点公司坚持10多年技术差异化创新成果的SAPS清洗技术获得国际一线客户先进制程应用。盛美专有的空间交变相位移（SAPS）晶圆清洗技术，在兆声波发生器和晶圆之间的间隙中采用兆声波的交替相位变化，与前几代兆声波晶圆清洗设备中使用的固定兆声波发生器不同，SAPS技术能够在晶圆旋转时移动或倾斜发生器，使兆声波能量均匀地传递到晶圆（即使晶圆有翘曲）上的所有点。SAPS工艺技术最早在DRAM器件上得到验证，进而陆续应用到3DNand、功率器件、传感器等国内一线客户。此次获得美国一线客户先进制程的两台SAPS设备订单，表明SAPS技术在逻辑电路客户乃至先进制程中也同样有很好的应用