国联证券：至纯科技（603690）-清洗设备大幅增长，受益国产替代成长路径明晰

至纯科技(603690)事件：公司发布2020年年报及2021年一季报，2020年实现营收13.97亿元，同比增长41.63%，归母净利润2.61亿元，同比增长136.36%；2021Q1实现营收2.31亿元，同比增长104.13%；归母净利润0.75亿元，去年同期亏损0.15亿元。投资要点：2020年净利润大幅增长，在手订单充足，后续增长动能充足2020年净利润同比增长136.36%，在手订单逐步释放将继续推动后续业绩快速增长。2020年半导体板块营收同比增长101.17%，新增订单13.6亿元，其中湿法设备新增订单5.3亿元，较上年同期增加211%，湿法设备订单中单片设备新增订单3.66亿元。1Q21合同负债2.01亿元，较2020年底1.71亿元同比增长18%，充足订单为后续业绩增长提供了保障。湿法设备切入一线用户，多类型单片湿法设备获订单公司是提供到28纳米节点全部湿法工艺的本土供应商，并拥有14nm的技术储备，能够覆盖晶圆制造中包括先进制程逻辑电路、高密度存储、化合物半导体特色工艺等多个细分领域的市场需求。2020年下半年开始订单呈现出井喷状态，单片湿法设备和槽式湿法设备全年