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国信证券:硅基新材料行业分析框架.pdf |
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四氯化硅是有机硅合成、三氯氢硅、多晶硅生产过程中的重要原料和中间产物,四氯化硅按纯度可以分为工业级四氯化硅与高纯四氯化硅(包括半导体级、电子级),高纯四氯化硅是光纤通讯、集成电路、气凝胶制造生产不可或缺的基础原材料,半导体级四氯化硅主要用于生产光纤预制棒;电子级四氯化硅气体主要用于薄膜沉积与蚀刻工艺,高纯四氯化硅可用于生产正硅酸乙酯(TEOS),高纯正硅酸乙酯是气凝胶主要原料;电子级正硅酸乙酯也可用于集成电路制造过程中的化学气相沉积(CVD)薄膜制程。电子级含硅特气主要用于硅外延片生产,进口替代空间广阔。电子级含硅特气包括电子级四氯化硅、三氯氢硅、二氯二氢硅、硅烷,主要用于化学气相沉积(CVD)的气相外延法生产硅外延片,电子级二氯二氢硅主要用于生产12寸硅外延片,电子级三氯氢硅、四氯化硅主要用于生产6-8寸硅外延片。目前含硅特气90%以上依赖进口,随着下游半导体产业国产化进程加速,有望带动国产电子级含硅特气加速国产化,我们预计国内电子级三氯氢硅、四氯化硅市场规模在60亿元左右,电子级二氯二氢硅市场规模在40亿元左右气凝胶具有纳米多孔网络结构的固体材料,在动力电池及新能源汽车需求有望爆发
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