国信证券：射频电源行业专题：等离子体加工设备核心零部件，实现设备自主可控的必要条件

核心观点射频电源是等离子体加工设备核心零部件。射频电源是产生等离子体的核心零部件，对等离子体加工设备的加工能力和加工效果影响很大。主要影响领域包括半导体中刻蚀、薄膜沉积、离子注入、清洗去胶等环节和光伏中薄膜沉积环节，射频电源的性能对形成的等离子体质量和稳定性至关重要，因此对于输出方式、输出效率、输出稳定性等都有极高要求，是半导体零部件中高技术壁垒的零部件之一。射频电源价值约为设备成本12%，2022年射频电源国内市场空间约55亿元。据SEMI统计，2022年全球刻蚀设备市场空间为184亿美元，全球薄膜沉积设备市场空间为220亿美元，射频电源价值量约占等离子体加工设备12%，计算可得对应射频电源市场规模约为26亿美元，考虑离子注入和清洗等环节，全球总空间约为30亿美元。SEMI统计2021年半导体设备国内销售额约占全球28.9%，国内市场空间约为60亿元。射频电源主要被美商MKS、AE垄断，国产化率几乎为零。射频电源由于自身高技术壁垒和研发难度，国内市场长期被美商垄断，主要企业为美国MKSInstrument（万国仪器）和AdvancedEnergy（先进能源工业），2021年MKSIn