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东吴证券:光伏设备行业点评报告:N型低氧单晶炉迎新一轮技术迭代,利好硅片设备商

发布者:wx****69
2023-05-22
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能源 东吴证券
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东吴证券:光伏设备行业点评报告:N型低氧单晶炉迎新一轮技术迭代,利好硅片设备商.pdf
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事件:连城数控发布KX420PV单晶炉新品,采用MCCz单晶生长技术,通过引入磁场实现更低的氧碳含量、更高的少子寿命。投资要点N型硅片存在同心圆问题,要求更低氧含量:N型对晶体品质和氧碳含量要求很高,典型问题是由原生氧造成造成的同心圆、黑芯片问题,形成原因系高温的硅溶液在坩埚里进行相对高速的对流,因为外面热中间冷,底部热上面冷,硅溶液在坩埚内会形成类似“开锅”的现象,造成硅溶液内部出现流动,不停冲刷石英坩埚,而石英就是二氧化硅,其中含有的氧会在冲刷过程中融入硅溶液,造成晶体里含有较多的氧。而TOPCon后续的高温工艺(如B扩散)下,氧非常容易沉淀,形成氧环即同心圆,影响效率和良率,所以TOPCon对硅片氧含量更敏感;而HJT为低温工艺,出现同心圆的概率不高,可以选择高氧含量的硅片。增加磁场是有效改善方案之一,目前成本较高:磁场可以解决这个问题,主要系磁场会抑制硅溶液的流动,使硅溶液变得很粘稠,硅溶液流动变慢后,氧含量就会下降,目前半导体级的超导磁场约500万元+/台,光伏级约300万元+/台,主要系冷冻机、超导线材等成本较高,我们预计未来有望降低至100万/台。除了磁场方案以外,改变坩

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