民生证券：微导纳米（688147）-深度报告：专注ALD设备，光伏+半导体双线突破

微导纳米(688147)微导纳米：国产ALD设备领军者。公司以原子层沉积（ALD）技术为核心，专注于先进微纳米级薄膜沉积设备的研发与应用。公司业务涵盖光伏、半导体以及柔性电子领域。主要产品在光伏领域应用于新一代高效太阳能电池（TOPCon、XBC）的薄膜沉积，在半导体领域应用于先进逻辑芯片、新型存储芯片、化合物半导体、新型显示芯片等的薄膜沉积。经过多年技术积累，公司产品已达到国际先进水平。近年来，公司业绩快速增长，营收由2018年的0.42亿元增长至2021年的4.28亿元，CAGR高达117%。目前，公司已覆盖包括通威太阳能、隆基股份、晶澳太阳能、阿特斯、天合光能等在内的多家知名太阳能电池片生产商。半导体领域先后获得多家国内知名半导体公司的商业订单，并与多家国内主流半导体厂商及验证平台签署了保密协议并开展产品技术验证等工作。先进工艺演进，催生ALD需求增量。ALD可在复杂形貌上，完成可控制于原子层精度的高质量薄膜沉积，因此在光伏和半导体的先进工艺中均有光伏应用。1）半导体领域，ALD在45nm以下具有广阔应用场景，用于High-k介质，多重曝光，3D结构塑造等。据Gartner数据，