中银证券：精测电子（300567）-精积微发布明场检测新产品，并获2台订单

精测电子(300567)子公司上海精测半导体官方微信公众号发布，精积微已于本周斩获两台明场检测BFI100型设备订单，该型号设备主要用于65nm-180nm的半导体产线制程监控。首台设备将于今年10月出机。支撑评级的要点明场检测一般用于有图形晶圆的缺陷检测。明场检测通过高质量的光学成像检测尺寸远小于光学衍射极限的缺陷，对光学镜头加工与安装精度、运动控制精度、照明光源亮度、抑制图像采集噪声、数据处理能力等都有极高的要求，往往接近同等工艺节点光刻机的苛刻技术要求。相比之下，暗场检测设备通过探测缺陷的光散射信号实现检测，较易获得足够的信噪比，其技术难度与系统复杂程度小于明场设备，因此明场设备往往比同一产线上暗场设备价格高出许多。明场检测新产品推出，打破被KLA、AppliedMaterials等垄断的竞争格局。作为半导体前道检测必备的主设备，明场检测的核心技术一直被国外几家公司垄断，据Gartner数据，KLA在有图形晶圆检测领域的市占率达到72%。此次精积微BFI100作为国内首个量产型号的明场检测设备，将有助于客户在该领域获得更高性价比的设备选型与应用服务。精积微将推进明场检测的产品迭代