中银证券：芯源微（688037）-黄光区的设备国产化先锋，i-line和KrF涂胶显影进入放量阶段

芯源微(688037)公司发布2021年报，营业收入8.29亿元，同比增长152%；净利润0.77亿元，同比增长58%；扣非净利润0.64亿元，同比增长396%；基本每股收益0.92元，同比增长59%。支撑评级的要点收入强劲增长，涂胶显影机占主要部分。公司年报今日发布，总收入8.3个亿增长152%，其中涂胶显影收入5.1个亿增长114%，占收入比例61%，而清洗设备2.9亿元增长281%，收入占比35%。新增订单大幅增长，在手订单充裕。公司的存货金额及合同负债分别增长了132%和166%，且主营的光刻工序涂胶显影设备、单片湿法设备的库存量分别增长了145%和277%，表明公司的在手订单充足并积极准备零部件，公司业绩持续增长获得保障。涂胶显影机（Track）技术壁垒高。Track也属于光刻工艺环节，但主要被东京电子（TEL）垄断了全球Track市场，从国产化难度来看，既要与光刻机链接，又要解决复杂的结构设计。前道涂胶显影机放量在即，打破被TEL垄断的竞争格局。公司涂胶显影设备陆续获得了多个前道大客户订单及应用，下游客户覆盖逻辑、存储、功率器件及其他特种工艺等多家国内厂商。公司生产的off