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国金证券:化学机械抛光行业:先进工艺及原材料自给打开市场空间.pdf |
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化学机械抛光(ChemicalMechanicalPlanarization,以下简称“CMP”)是集成电路制造过程中实现晶圆全局均匀平坦化的关键工艺,应用于硅片制造、晶圆制造与先进封装。根据MarketGrowthReports统计,2025年全球CMP抛光液和抛光垫的市场规模约为33.8亿美元,预计2025~2034年复合增速为4.5%。根据华经产业研究院统计,2023年中国CMP抛光液市场规模约为29.6亿元;根据弗若斯特沙利文测算,2024年中国CMP抛光垫市场规模约23亿元。市场的增长驱动力主要来源于工艺进步和先进封装。更先进的逻辑芯片制造工艺要求抛光新的材料,抛光步骤也更多。MarketGrowthReports预计到2028年,先进封装技术也将贡献额外15~20%的CMP需求增长。
CMP抛光液由磨料、添加剂和超纯水等复配而成,目前全球活跃使用的抛光液配方超过300种。磨料是抛光液的物理去除单元,包括氧化硅(SiO2)、氧化铈(CeO2)、氧化铝(Al2O3)等。根据安集科技公告,2023年公司研磨颗粒采购成本约占公司CMP抛光液总成本的54.6%。根据工艺步骤不同,CM
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