东吴证券：至纯科技（603690）-清洗机业务批量交货，长期受益于清洗机国产化率提高

至纯科技(603690)至纯科技清洗设备国内龙头地位稳固，具备卡位优势目前至纯已成长为国内半导体清洗设备两家龙头之一。（1）从订单金额上来看，公司S300单片湿法设备的订单超过10台（超3亿元）。我们预计2021年新接清洗机订单金额将会继续快速增长，至纯与盛美将会共同占据国内清洗设备高端市场的双龙头地位；（2）从技术上看，至纯已在技术难度更高的单片式设备上获得突破，并在几个特殊工艺上（晶背清洗、高温硫酸、异丙醇干燥）弥补了国内空白。（3）从交付能力上看，2020年至纯的单片设备和槽式设备全年出机超过了30台。对于5年（2018-2022）200台的目标，2018-20年至纯已累计出货小70台，我们预计2022年累计200台的目标将顺利完成。至纯科技在清洗机上具备人才+技术+客户的先发优势，行业新进入者的零部件供应+新型机台验证较困难，因此我们判断至纯目前的龙头地位具备延续性。清洗设备赛道好空间大，有望率先实现全面国产化相比于刻蚀机、光刻机和CVD设备，技术门槛较低的清洗机有望率先实现未来3-5年的全面国产化。我们预计中国大陆地区每年的湿法清洗设备空间在15-20亿美元，目前除长江存储之